在真空系統(tǒng)中處理漏氣問題時(shí)，選擇合適的密封方法取決于漏點(diǎn)位置、真空度要求、溫度范圍以及介質(zhì)類型等因素。以下是常見的密封解決方案：

1. 密封材料選擇

真空脂（如碳?xì)湔婵罩?a href="http://Apiezon" target="_blank" title="http://wq029.com">Apiezon品牌 ）：

適用于可拆卸的靜態(tài)密封（如法蘭接口、旋塞閥）。

耐溫范圍通常為-30℃~200℃，適合低真空（如機(jī)械泵系統(tǒng)）。

真空密封膠（如環(huán)氧樹脂、硅橡膠）：

用于填補(bǔ)微小裂縫或固定密封件。

需選擇低放氣（outgassing）型號，如Torr Seal（環(huán)氧類） 。

金屬密封（無氧銅、鋁、金絲墊片）：

適用于超高真空（UHV，≤10?? mbar）或高溫環(huán)境。

需配合刀口法蘭（Knife-edge flange）使用，通過塑性變形密封。

彈性體密封圈：

O型圈材料：

氟橡膠（FKM）：耐高溫（~200℃）、耐化學(xué)腐蝕。

全氟醚橡膠（FFKM）：超高真空兼容，抗等離子體侵蝕。

丁腈橡膠（NBR）：低成本，適用于中低真空。

需確保表面光潔度（Ra≤1.6μm）和壓縮率（通常20%~30%）。

2. 動態(tài)密封（運(yùn)動部件）

磁流體密封：

用于旋轉(zhuǎn)軸（如分子泵軸），允許轉(zhuǎn)動且泄漏率極低（10?12 mbar·L/s）。

波紋管（Bellows）：

解決直線運(yùn)動或角度調(diào)整時(shí)的密封問題，材質(zhì)為不銹鋼或鍍鎳。

3. 特殊處理技術(shù)

氦質(zhì)譜檢漏：先定位漏點(diǎn)（如焊縫、法蘭接口），再針對性密封。

高溫烘烤：超高真空系統(tǒng)需烘烤（150~400℃）以減少材料放氣。

焊接或釬焊：長久性密封，適用于金屬管路或腔體裂縫（如氬弧焊、電子束焊）。

4. 常見漏點(diǎn)及處理

法蘭接口：清潔接觸面，更換O型圈，均勻擰緊螺栓（按對角順序）。

螺紋連接：使用密封膠或聚四氟乙烯（PTFE）生料帶。

觀察窗或電極引入：采用金屬化陶瓷封接或玻璃-金屬熔封。

5. 注意事項(xiàng)

放氣問題：避免使用普通橡膠或膠水，需選擇低揮發(fā)材料。

清潔度：密封前用丙酮或酒精徹底清潔表面。

壓力分級：

低真空（103~10?3 mbar）：O型圈+脂即可。

高真空（10?3~10?? mbar）：需金屬密封或氟橡膠。

示例方案

小型真空腔體漏氣：

用丙酮清潔漏點(diǎn)周圍。

涂抹Torr Seal環(huán)氧膠，固化24小時(shí)。

檢漏確認(rèn)（如酒精噴霧法觀察真空計(jì)變化）。

金屬法蘭泄漏：

更換為無氧銅墊片，法蘭螺栓扭矩按標(biāo)準(zhǔn)（如CF法蘭通常為10~15 Nm）。

根據(jù)具體場景選擇合適方法，若漏點(diǎn)難以定位，可以聯(lián)系我們15301310116（微信同號）。