超高真空（UHV，通常指壓力低于 10?? Pa）潤(rùn)滑脂的使用特點(diǎn)主要體現(xiàn)在其特殊的物理化學(xué)性能上，以滿(mǎn)足極端環(huán)境下的潤(rùn)滑、密封和長(zhǎng)壽命需求。以下是其主要特點(diǎn)及對(duì)應(yīng)的技術(shù)要求：

1. 極低蒸氣壓（核心特性）

蒸氣壓需 <10?? Pa（或10?1? Torr），避免揮發(fā)污染真空系統(tǒng)。

揮發(fā)物會(huì)沉積在真空腔體、光學(xué)元件或敏感器件（如半導(dǎo)體晶圓）上，導(dǎo)致性能下降。

普通潤(rùn)滑脂（如礦物油）蒸氣壓過(guò)高，完全不適合UHV環(huán)境。

2. 低出氣率（Outgassing）

通過(guò) ASTM E595 測(cè)試，總質(zhì)量損失（TML）<1%，揮發(fā)物冷凝量（CVCM）<0.1%。

高出氣率會(huì)導(dǎo)致真空度難以維持，延長(zhǎng)抽氣時(shí)間。

潤(rùn)滑脂需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格脫氣處理，或使用高分子量合成油（如PFPE）。

3. 寬溫度穩(wěn)定性

工作范圍：通常需覆蓋 -10℃至250℃ 

高溫下需避免分解（如硅脂在>150℃時(shí)可能裂解）。

4. 化學(xué)惰性

耐腐蝕性氣體（如O?、Cl?）、等離子體、紫外線(xiàn)/電離輻射。

應(yīng)用場(chǎng)景：

半導(dǎo)體工藝中可能接觸刻蝕氣體（如氟化物）。

航天器暴露于原子氧和宇宙射線(xiàn)環(huán)境。

5. 抗磨損與長(zhǎng)壽命

超高真空中缺乏氧化膜保護(hù)，金屬接觸面易發(fā)生冷焊 

潤(rùn)滑脂需形成穩(wěn)定潤(rùn)滑膜，減少摩擦磨損 

典型壽命：PFPE潤(rùn)滑脂在UHV中可達(dá)數(shù)年（靜態(tài)密封）至數(shù)千小時(shí)（動(dòng)態(tài)部件）。

6. 材料兼容性

需測(cè)試的接觸材料：

密封件（如氟橡膠、全氟醚橡膠FFKM）。

金屬（不銹鋼、鋁合金）避免腐蝕。

塑料（如PTFE、PEEK）避免溶脹。

7. 清潔性與顆?？刂?/span>

無(wú)粉塵、纖維或金屬顆粒 。

光學(xué)真空系統(tǒng)（如激光干涉儀）對(duì)顆粒污染極度敏感。

半導(dǎo)體設(shè)備需避免顆粒導(dǎo)致晶圓缺陷。

8. 特殊環(huán)境適應(yīng)性

抗輻照：用于核設(shè)施或太空環(huán)境（如PFPE優(yōu)于硅脂）。

無(wú)磁干擾：某些實(shí)驗(yàn)（如超導(dǎo)磁體）需非磁性潤(rùn)滑脂。

使用注意事項(xiàng)

涂覆方式：薄層均勻涂抹，避免過(guò)量（多余脂可能遷移污染）。

預(yù)處理：真空烘烤（如150℃/24h）減少初始出氣。

維護(hù)周期：定期監(jiān)測(cè)摩擦系數(shù)和真空度，及時(shí)更換。

超高真空潤(rùn)滑脂的選擇需嚴(yán)格匹配具體工況，建議通過(guò)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證性能（如摩擦測(cè)試、出氣率測(cè)試）。

超高真空潤(rùn)滑脂——Apiezon  PFPE501 Grease

Apiezon PFPE501 是一種高性能的全氟聚醚（PFPE）潤(rùn)滑脂，由英國(guó)Apiezon公司開(kāi)發(fā)。它具有優(yōu)異的化學(xué)惰性、熱穩(wěn)定性和抗氧化性，適用于極端環(huán)境，如高真空、高溫（工作溫度范圍約-15℃至+250℃）或強(qiáng)腐蝕性場(chǎng)合。其低揮發(fā)性特點(diǎn)使其成為真空系統(tǒng)和精密儀器的理想潤(rùn)滑選擇，同時(shí)與大多數(shù)塑料和彈性體兼容，廣泛應(yīng)用于航空航天、半導(dǎo)體制造和科研設(shè)備等領(lǐng)域。